核心技術(shù)特性
柔性電子芯片以柔性基板(如聚酰亞胺、水凝膠、石墨烯薄膜等)為載體,通過(guò)特殊的材料制備和工藝加工,實(shí)現(xiàn)可彎曲、折疊甚至拉伸的電子器件,其最核心的優(yōu)勢(shì)是優(yōu)異的機(jī)械柔韌性。這類(lèi)芯片可承受彎曲半徑小至 1 毫米的反復(fù)彎曲(超過(guò) 10 萬(wàn)次),或 50% 以上的拉伸變形而不損壞,打破了傳統(tǒng)硅基芯片剛性易碎的局限。在可穿戴設(shè)備中,柔性電子芯片能緊密貼合人體皮膚或衣物表面,隨人體運(yùn)動(dòng)同步形變,解決了傳統(tǒng)電子設(shè)備與人體適配性差的問(wèn)題。
輕質(zhì)超薄特性拓展應(yīng)用場(chǎng)景。柔性電子芯片的厚度可控制在 10 微米以內(nèi),重量?jī)H為同面積硅基芯片的 1/10,如一塊 5 平方厘米的柔性傳感器芯片重量不足 0.1 克,佩戴時(shí)幾乎無(wú)異物感。這種特性使其可集成到隱形眼鏡、皮膚貼劑等超薄載體上,在醫(yī)療、消費(fèi)電子等領(lǐng)域開(kāi)辟全新應(yīng)用,例如谷歌研發(fā)的柔性智能隱形眼鏡,通過(guò)集成微型柔性芯片實(shí)現(xiàn)眼壓實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),厚度僅 20 微米,佩戴舒適度與普通隱形眼鏡相當(dāng)。
低功耗與生物相容性突出。柔性電子芯片多采用有機(jī)半導(dǎo)體、納米材料等低功耗材料,工作功耗可低至微瓦級(jí),配合柔性電池或能量收集模塊,可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期續(xù)航。同時(shí),生物相容性柔性基板(如水凝膠、絲蛋白薄膜)與人體組織的親和性良好,植入體內(nèi)后不會(huì)引發(fā)強(qiáng)烈免疫反應(yīng),為植入式醫(yī)療設(shè)備提供了安全的技術(shù)基礎(chǔ)。

關(guān)鍵技術(shù)突破
近年來(lái),柔性基板的性能實(shí)現(xiàn)質(zhì)的飛躍。早期柔性基板存在耐熱性差、表面粗糙度高的問(wèn)題,難以兼容傳統(tǒng)半導(dǎo)體工藝,而新型 “復(fù)合柔性基板” 通過(guò)在聚酰亞胺表面沉積納米級(jí)氧化硅涂層,將耐熱溫度提升至 350℃以上,表面粗糙度降低至 1 納米以下,可直接采用光刻、蒸鍍等傳統(tǒng)工藝制備器件。中科院化學(xué)所研發(fā)的這種基板,在 180 度反復(fù)折疊 10 萬(wàn)次后,電學(xué)性能衰減不足 5%,為柔性電子芯片的規(guī)?;a(chǎn)奠定基礎(chǔ)。
柔性導(dǎo)電材料的穩(wěn)定性大幅提升。傳統(tǒng)柔性導(dǎo)電材料(如金屬薄膜)在拉伸時(shí)易斷裂,而新型 “納米銀線 / 石墨烯復(fù)合導(dǎo)電層” 通過(guò)納米銀線的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)和石墨烯的韌性支撐,拉伸率可達(dá) 100%,電導(dǎo)率保持在 10?S/cm 以上,且在反復(fù)拉伸 1 萬(wàn)次后電導(dǎo)率衰減低于 10%。三星研發(fā)的這種材料已應(yīng)用于柔性顯示屏的觸控電路,解決了傳統(tǒng) ITO 導(dǎo)電膜易碎的問(wèn)題。
全柔性集成技術(shù)取得突破。早期柔性電子芯片多為單一功能器件,而新型 “系統(tǒng)級(jí)柔性集成” 技術(shù)將傳感器、處理器、通信模塊、電源等集成在同一柔性基板上,實(shí)現(xiàn)完整的電子系統(tǒng)。斯坦福大學(xué)研發(fā)的全柔性健康監(jiān)測(cè)芯片,集成了溫度、心率、血氧等 8 種傳感器和低功耗處理器,可通過(guò)藍(lán)牙實(shí)時(shí)傳輸數(shù)據(jù),整個(gè)系統(tǒng)厚度僅 5 微米,可貼附于皮膚表面連續(xù)工作 7 天。
行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景
可穿戴健康監(jiān)測(cè)領(lǐng)域,柔性電子芯片實(shí)現(xiàn)無(wú)感監(jiān)測(cè)。華為研發(fā)的柔性皮膚貼劑芯片,集成了心電、肌電、體溫等多種傳感器,厚度僅 8 微米,貼在胸口即可 24 小時(shí)監(jiān)測(cè)心臟活動(dòng),數(shù)據(jù)通過(guò)藍(lán)牙傳輸至手機(jī) APP。與傳統(tǒng)心電監(jiān)護(hù)設(shè)備相比,其佩戴舒適度提升 90%,患者依從性顯著提高,在心律失常篩查中的檢出率提升 20%。
柔性顯示領(lǐng)域,推動(dòng)屏幕形態(tài)創(chuàng)新。三星推出的柔性折疊屏手機(jī)采用柔性驅(qū)動(dòng)芯片,配合柔性 OLED 面板,可實(shí)現(xiàn)向內(nèi)對(duì)折(折疊半徑 3 毫米),折疊次數(shù)超過(guò) 20 萬(wàn)次,屏幕仍保持良好顯示效果。柔性芯片的應(yīng)用使折疊屏手機(jī)的鉸鏈結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化 30%,重量減輕 15%,同時(shí)解決了傳統(tǒng)剛性芯片在折疊處易損壞的問(wèn)題。
植入式醫(yī)療領(lǐng)域,柔性電子芯片助力精準(zhǔn)治療。MIT 研發(fā)的柔性神經(jīng)刺激芯片可植入大腦皮層,厚度僅 5 微米,通過(guò)陣列式電極精準(zhǔn)刺激特定神經(jīng)區(qū)域,用于治療帕金森病、癲癇等神經(jīng)系統(tǒng)疾病。該芯片采用生物可降解基板,完成治療使命后可在體內(nèi)自然降解,避免二次手術(shù)取出的風(fēng)險(xiǎn),目前在動(dòng)物實(shí)驗(yàn)中已實(shí)現(xiàn)對(duì)運(yùn)動(dòng)障礙的有效改善。
現(xiàn)存挑戰(zhàn)
性能與穩(wěn)定性仍需提升。柔性電子芯片的載流子遷移率、開(kāi)關(guān)比等關(guān)鍵電學(xué)參數(shù)與硅基芯片存在差距,如有機(jī)半導(dǎo)體柔性芯片的遷移率約為 10 cm2/V?s,僅為硅基芯片的 1/100,導(dǎo)致高頻性能不足,難以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜邏輯運(yùn)算。同時(shí),在潮濕、高溫等環(huán)境下,柔性材料易發(fā)生降解或氧化,器件壽命通常在 1-2 年,遠(yuǎn)低于硅基芯片的 10 年以上。
制造工藝復(fù)雜成本高。柔性電子芯片的制備需要特殊的材料處理和工藝設(shè)備,如柔性基板的切割、轉(zhuǎn)移,柔性器件的封裝等流程尚未形成標(biāo)準(zhǔn)化量產(chǎn)工藝,良率僅為硅基芯片的 50%-60%,導(dǎo)致單芯片成本是傳統(tǒng)芯片的 5-10 倍。例如,一塊柔性健康監(jiān)測(cè)芯片的制造成本約 50 美元,而功能相似的剛性芯片僅需 5 美元,制約了其在消費(fèi)電子領(lǐng)域的普及。
封裝技術(shù)存在瓶頸。柔性電子芯片的封裝需要同時(shí)滿足柔韌性、密封性和可靠性要求,傳統(tǒng)剛性封裝材料無(wú)法適配,而柔性封裝材料(如聚對(duì)二甲苯、超薄金屬箔)的阻隔性能不足,水汽和氧氣易滲入導(dǎo)致器件失效。雖然原子層沉積技術(shù)可制備納米級(jí)阻隔膜,將水氧透過(guò)率降低至 10?? g/m2?day,但封裝成本增加 30%,且會(huì)降低芯片的柔韌性。
柔性電子芯片正處于技術(shù)快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)培育的階段,預(yù)計(jì) 2035 年全球市場(chǎng)規(guī)模將突破 180 億美元,在可穿戴設(shè)備、柔性顯示、植入式醫(yī)療等領(lǐng)域形成規(guī)模應(yīng)用。隨著材料性能的優(yōu)化和制造工藝的成熟,柔性電子芯片的性能將逐步接近硅基芯片,成本大幅降低,有望在消費(fèi)電子、工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域替代部分傳統(tǒng)剛性芯片。未來(lái),柔性電子芯片與人工智能、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的結(jié)合,可能催生 “電子皮膚”“智能衣物” 等全新產(chǎn)品形態(tài),徹底改變?nèi)藱C(jī)交互的方式。
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